一、半導體/集成電路

蓋斯帕克(ke)常年與集(ji)成式電路(lu)系統產品配(pei)(pei)合(he)，特地(di)發展來設計重(zhong)新安裝(zhuang)的高(gao)純的EP級(ji)特氣(qi)柜(ju)、氣(qi)體分配(pei)(pei)柜(ju)廣泛用于濕蝕(shi)刻(wet etching)、干(gan)蝕(shi)刻(dry etching)、臥式(shi)儲罐(guan)普通機械氣(qi)相色譜(pu)淀(dian)積（APCVD）、低(di)壓化(hua)學氣(qi)相淀(dian)積（LPCVD）、等離子體(ti)化(hua)學氣(qi)相淀(dian)積（PECVD）、濺射（PF）、光(guang)刻等半導(dao)體(ti)設備(bei)(bei)的(de)供氣(qi)服務，同時還算(suan)征對各(ge)家工廠的(de)實際(ji)特點，量身定制地開發(fa)了(le)危險(xian)氣(qi)體(ti)監控(kong)管理(li)系(xi)統(tong)（GDS），為廠家的(de)安全生產保(bao)駕護行。還相應(ying)開發(fa)了(le)上述生產設備(bei)(bei)的(de)尾氣(qi)處理(li)系(xi)統(tong)，保(bao)證了(le)工廠廢氣(qi)的(de)排放達標