名稱：閥門分配箱(xiang)(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜長寬比：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT放氣管：1/2MVCR插孔　　■ 工藝技術氣休：1進N出(N=2~16)　　■ 股市k線圖樣式：1/4"股市k線圖　　■ 規范標準搭載：隔爆抗腐蝕柜子，隔爆自鎖門，隔爆玻離探究窗，泄密報警信號，主材SS316L　　■ 膽機機箱排風量: 4"排氣閥口，SiH4-1200次/分鐘，另外300次/分鐘　　■ 配置：外吹掃，抽正空，全自行管控，加工的氣體背壓式汽輪機警報器，遠程電腦鋸斷，表盤供暖及溫度控制系統設計，用戶名警報器，警報器訊號手機短信推送與電話通知范文

　　適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等(deng)配套設備上，適用于高校實(shi)驗(yan)室、材料分析實(shi)驗(yan)室、芯片(pian)半導(dao)體、光伏太陽能電池、生物醫藥工(gong)程(cheng)、微電子新材料等(deng)行業。