名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H600高 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體：1進N出(chu)（N=2~9） 

■ 盤(pan)(pan)面規格：1/4"盤(pan)(pan)面

■ 標準配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門(men)，防爆玻璃(li)觀察窗(chuang)，泄漏(lou)報警(jing)，主材SS316L

■ 箱體換氣量:4"排氣口(kou)，SiH4-1200次/小(xiao)時，其余300次/小(xiao)時 

■ 選配：外吹掃，抽(chou)真(zhen)空，全(quan)自動控(kong)(kong)制，工藝氣體超壓報(bao)(bao)警(jing)(jing)(jing)，遠程(cheng)切(qie)斷，盤面加熱及溫控(kong)(kong)裝(zhuang)置(zhi)，泄漏報(bao)(bao)警(jing)(jing)(jing)，報(bao)(bao)警(jing)(jing)(jing)信號手機短信與電話通(tong)知 

■ 適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕(shi)機等(deng)(deng)配套設備(bei)上，適用于(yu)高校實(shi)驗室、材(cai)料分(fen)析實(shi)驗室、芯片半導體、光(guang)伏太陽能電(dian)池、生物(wu)醫藥工程、微電(dian)子(zi)新材(cai)料等(deng)(deng)行業。