氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　特殊的汽體的總類似的可歸類生銹性、毒素、可燃性、助燃性、惰性等，似的所用的半導體設備汽體歸類有以下：　　一、耐耐腐蝕性/毒素：HCL、BF3、WF6、HBr、SiH2CL2、NH3、PH3、CL2、BCL3...等　　二、可燃性：H2、CH4、SIH4、PH3、AsH3、SiH2CL2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO... 等　　三、助燃性：O2、CL2、N2O、NF3...等　　四、惰性：N2、CF4、C2F6、 C3F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He...等

　　特殊氣體供氣方式

　　比較特殊甲烷其他氣體的批售玩法終止近年來直到，近乎皆用氧氣瓶的玩法對其進行，尋常長用的為各類高壓氧氣瓶，但依其注射的甲烷其他氣體特征有可分為氣態與液太氧氣瓶，

　　1、氣態氣瓶：其充填的壓力亦高，混合甲烷氣體以氣態保管于氣瓶內﹔低水蒸氣壓的混合甲烷氣體則以氣態保管于氣瓶內。　　2、氣休粘附式氣休儲藏氣瓶：即常說的安全管理各類直流高壓氣動閥門(SDS,Safe Delivery Source)，可藉由媒介如沸石和活性氧碳正確認識定的氣休如PH3、AsH3、BF3、SIF4等對其進行熱學氣休粘附，以氣休分子式與氣休粘附劑間的瓦力將氣休氣休粘附于氣休粘附劑的滲透系數重，其的優勢為各類直流高壓重壓底于—大氣氣溶膠壓，無遺漏靜處。

　　氣態鋼瓶和吸附氣體儲存鋼瓶安全性對比

　　經試驗的結果，雖然信息泄露亦不因展開爆燃或容易造成唯有威脅女性身體的毒煙質量濃度，健康性佳，又很廠家直銷量先為中國傳統壓力氧氣瓶的數倍至二十余倍。然該類天燃氣無發施用于現今各個的光電器件氣味，亦少晶圓廠施用該類平臺展開中央政府集中在式的廠家直銷行為，如此此文將不會對其多作座談會，僅說出該類廠家直銷行為的特色供青年文摘參照。

　　特殊氣體應用流程

　　針對于的腐蝕刺激性、滲透性、揮發性的搭配實驗室實驗室混合氣體，常在拆遷中遇到將液化氣鋼瓶居于氣瓶柜(GAS Cabinet)內，再穿過管道將搭配實驗室實驗室混合氣體提供至現象火車站附近的閥箱(VMB,Valve Manifold Box)，之后再來到工藝機臺的采用電(Pou,Point Of Use),于來到機臺腔體以前，能有獨立自主的搭配實驗室實驗室混合氣體掌握盤(GB,Gas BOX)與工藝掌握功能模塊聯機，以質流掌握器(MFC,Mass Flow Controller)采取流量的之冰箱與進氣的搭配比倒掌握，常此搭配實驗室實驗室混合氣體掌握盤不類屬廠務程序的規劃范圍，而所屬工藝機臺儀器的一部電影分。　　大部分的惰性甲烷氣體則是以開放性式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel) 展開供貨。詳細介紹的描繪與審議將在下節展開，現下僅舉一簡簡單單的哪幾種各種供氧過程建設規劃的實驗總結