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半導體廠大宗氣體管道系統設計

2020-09-08

  半導體廠大宗氣體管道系統設計

  原因半導體技術的投資回報與掉落基本都是更加的大,絲毫集中供熱出現中斷會創造許許多多的經濟發展損害,特別對專業整合電源電路處理芯片分娩廠來看。這樣在設汁中須得徹底要考慮有害氣體生產操作系統電腦運行的安全衛生準確性。若通過場所制氣的方法。

  大宗氣體輸送管道系統的設計

  經純化后的商品交易的其他氣體由的其他氣體純化間送到氧化硅工作層(SubFAB)或工作廠房(FAB)的架空線路地磚下,你在里組成配污水管道絡,再由第二次配管系統性(Hook-up)送到各移動用戶點。以我的設計方案的概念實踐經驗,在設計方案的概念采用側重于要考慮下類以下幾個多方面。  1、配管系統性的總布局構架  現如今,普遍常見的構架有樹皮型(圖2)和環型(圖3)五種。這其中又數樹皮型更是實用,其構架分明,且與以外的別的裝置的配管構架類似的,有益一體化地方整體規劃。環型則能最號地維持用氣點心理的的壓力值的安穩,但加盟較高。而在開發中應可根據用氣點的遍布事情及用氣心理的的壓力值規范請求整體充分考慮。舉例說明,綜上所述在某200mm集成式用電線路集成電路芯片生產銷售廠的開發中,特色廢氣配管裝置均用于樹皮型構架。因該FAB鋼結構廠房較大,的管道較長,而新加工氫氣用氣點較多,下有些用氣點對心理的的壓力值規范請求也較高,而對新加工氫氣管道裝置獨特用于了樹皮型與環型相搭配的方式方法,環型大部分大部分有保障用氣點的心理的的壓力值安穩,其管子尺寸可不大于樹皮型大部分的管子尺寸,而調低人工成本。  2、配管系統軟件的比較靈可溶性設置  微手機行業領域領域的經濟發展相對快,三天兩頭會出現加工工藝技術專用機 升級、挪位和劃分等實力。縱使在全廠子的基本建設中,結果是的加工工藝技術專用機 區域劃分也會與結構設計方案時相去甚遠。種行業領域領域的特異性讓結構設計方案需要有效思考其靈巧性(Flexibility),能需要滿足未來生活的尋址供需。  配管系統的關鍵的設計構思原理是在經理(Main),上按--定行距如何快速設置排水立管端(Branch),再在沒個排水立管上按一-定行距如何快速設置分排水立管(BranchTake-off)供二四次配管食用。除此之外,經理的外徑不可隨聯通流量的下降而考慮漸縮的設計構思。  此外大宗商品現貨有毒氣體卸料整體定制不禁僅大于幾號,在選料等別因素也是有大多數說法,這里的英文那就不一四找出來。  大多的有毒氣味軟件的設定是整一款 半導制造廠設定中的一款 至關重要地方,雖然說整一款 軟件的教學環節并不簡化,是之中某個教學環節的粗心大意都可能會會致使特別嚴重的事由。在設定中,必定在集中供熱穩定性高、間隔不終止的基本前提下,嚴格規范服務保障有毒氣味的品控,于是服務保障整一款 制造廠的生產的能順利展開。其它在代價層面也應具所遵循,切實達到了健康安全可靠與劃算性的平衡性。  


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