雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特氣柜(ju)尺寸：W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口 

■ 氣動隔(ge)膜閥：CDA驅動，1/4"卡套(tao)接口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接(jie)口 

■ 工藝氣體出(chu)口：2個(ge)，1/4"MVCR接口 

■ 盤(pan)面(mian)規格：1/4"盤(pan)面(mian)

■ 標(biao)準(zhun)配(pei)備：自動切(qie)換，防爆防腐(fu)柜體，防爆自鎖(suo)門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警(jing)，遠程切(qie)斷，欠壓報警(jing)，主材(cai)SS316L

■ 柜(ju)體換氣(qi)量(liang):OD100mm排氣(qi)口(kou)，SiH4-1200次/小時(shi)，其余300次/小時(shi) 

■ 控制柜(ju)尺寸(cun)：W850寬×D230深×H320高(gao) 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護

■ 操作(zuo)界面：7"彩色觸摸屏

■ 選(xuan)配(pei)：工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)瓶重量監控器(qi)，工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)體超壓報警，盤(pan)面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知 

適用性標準：APP在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等一起系統上，反映于存儲芯片半導體制造行業、光伏陽光直曬能陽光直曬能充電、怪物制藥市政工程、微電子新的材料等制造行業。