電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
環保設備主任路核心是通各樣重型有毒氣體,需做測驗工程項目有：耐沖擊測驗、保壓測驗、氦檢則驗、的水分測驗、氧分測驗、顆粒測驗。
一、耐壓測試
1.1自測的 排水管在能受油田電后過渡點并不會漏出，以有效確保大部分人群的安全保障。另壓縮空氣管中的油田電能夠 偵測出焊道上有沒有沙孔普遍存在(沙孔因為為過高的的壓力產生泄漏)。 1.2測試軟件標準 各種測驗時間間隔為0.5H,各種測驗壓差進行程序中素材的最多的工作壓差而定，盡量避免因壓差過大出現素材磨損。比如說程序中壓差表最多測量范圍為400Kpa，則通入壓差要大于相等400Kpa。無壓降僅以進行。以免壓降需找到漏點重各種測驗，等到無壓降直到。 1.3測試圖片軟件工具 的壓差表 1.4公測前開始準備 檢查機系統具體流程圖是不是與PID圖紙文件具體流程圖同一，查對原料款型、方位、廣告是不是正確性。檢查地埋管原料很大辦公心理重壓,避開因測量階段通入心理重壓過高形成調節閥丟失。 1.5關注情況說明 保證質量測試軟件使用范圍內各個的銅閥(分為調壓閥)都出于開全的情況。 1.6測式工藝 1.6.1將氣動閥門用金屬材料管道鋪設連入至整體進氣端。 1.6.2緩緩開啟隔離開閥。 1.6.3只要一新增 10 PSIG，緩緩的將裝置學習的的壓力值值新增到結果測評學習的的壓力值值的50% 。觀察動物學習的的壓力值值表10 到15
20分鐘，看裝置有哪些漏泄。如學習的的壓力值值表展現裝置有漏泄，則減掉裝置學習的的壓力值值并罰理漏點。多次作出操作步驟。 1.6.4認可軟件無不管什么遺漏后，一點一點的上升軟件負壓差到測式值，掉線氣動閥門，觀察動物負壓差表30 秒鐘看軟件否有遺漏。 1.6.5在系統化的負壓可靠并表示無不管什么壓降后，在負壓試驗檢測結果中的記錄試驗進行時的氣溫、時光和負壓值。
二、保壓測試
2.1檢測原因 確保安全濾油器傳送模式并沒有嚴重的液化氣泄漏，盡量對濾油器模式進行氦測漏。 2.2檢查條件 檢測時段為24個鐘頭，檢測重壓不限制少于制作重壓的1.15倍，經環境體溫更正后的限制重壓降為不太于已經重壓的1%.重壓變方程式式(充分擔心環境體溫關系) P2=測試測試結束后壓力值值 (PSIG) P1=測試測試剛開始壓力值值(PSIG) T2=測試英文終結溫度因素值 (℃) T1=測式著手攝氏度值(℃) Pta=決定到氣溫后果的心理壓力的變化值 2.3測試方法手段 保壓計 2.4試驗方式 1.將汽源用復合管無線連接至平臺進氣口端。 2.通過生活緩慢打開微信防護閥。 3.每一次新增 10 PSIG，慢慢的將平臺壓強新增到不可能測評壓強的50% 。關注壓強表10 到15
幾分鐘，看平臺是否是漏泄。如壓強表展現平臺有漏泄，則減慢平臺壓強處以理漏點。相似據此實操。 4.證明系統化無很多用戶名后，緩緩的加強系統化各種各種壓力差到檢查值，斷電汽源，紀要好室內溫度、時、各種各種壓力差值，24H后觀擦各種各種壓力差有無有壓降。 5.在體統的氣壓保持穩定并表現無所以壓降后，在氣壓自測圖片報告模板中記錄查詢自測圖片展開時的濕度、時光和氣壓值。 2.5測評尾聲后注意特別注意特別注意 1.在自測軟件上報中記錄時間下自測軟件的性能。將體系的有壓力揮發釋放，在開始氦測漏時候用高純N2對體系開始快速的吹掃0.5H。 2.將重壓軟件測試用的供水管道拆遷，用堵頭來密封圈體系并利用新的平墊。 3.假設由體溫所導致的各種壓力越來越低大于了必須，采用關閉測試方法時間范圍內的系統化單向閥來 開其它的意向漏點，觀查哪幾個的不同防曬隔離霜一些的壓降。 4.在將漏點隔離霜和休復后，反復出現測量步。
三、氦質譜檢漏測試
3.1軟件測試意義 利用氦質譜儀感測漏入系統中的氫化物發生器的氦氣來測漏，并依據測量到的氦氣的量來確實漏率的規格。 3.2相應代詞及詮釋 渦流體度：趨于渦流體程序下的有毒氣體很稀水平，基本用“渦流體性好”和“渦流體度低”來說明。 進口真空度的單位：Torr 、Pa。 1托=1/760大方壓=1毫米左右汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：密閉式高壓氣空間在對外部規定大氣質量壓和部門準確時間內， 的物質用戶名的強度。 漏率常常用基層單位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 碳原子泵：經過高速公路轉動的扇葉，當氣物碳原子與鍋輪葉子相觸碰時就被驅向排氣口再由前級泵抽除。 3.3測量分析儀器 氦質譜檢漏儀 3.4測試前需備 1.控制系統取得成功的的根據了保壓檢漏。 2.驗收系統軟件的其他零件都能承受經得住進口真空工作狀態而不損害。 3.先對測漏儀原本閥組及接連壓縮空氣管道采取漏率驗測。 4.測漏儀與模式管線撥出去前，要將被測模式內的其他氣體緩解壓力掉。 5.徐徐打開文檔測漏儀通道處的調節閥 ，將測漏儀與液壓聚氨酯保溫管系統隔離防曬閥之前的液壓聚氨酯保溫管抽抽真空，以至測漏儀展現的背景圖片漏率小于 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對連到壓縮空氣管道上全部的焊道及機器連到處開始氦氣噴吹。 3.5測試測試工藝 1.核驗裝置時所有的銅閥和調壓閥也是開全的。 2.證明機機裝置中的負擔為0，如果你機機裝置中還在 壓，要先將機機裝置中的氣味排盡。 3.慢慢開放檢漏儀流量處的單向閥，開始將程序抽傭真空泵心態。遵照執行檢漏儀的實操情況說明實操，甚至滿足應該論文檢測的心態。 4.記錄時間下檢漏儀的背靜氦漏率，該背靜氦漏率不低于1 ×10-9 mbar.l/s過后，才可以實現噴吹任務。 5.從最接近檢漏儀的焊道或接觸處著手檢查測量，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或接觸處，更加氦氣會留住在焊道或接觸處1段時刻，證實找不到流出后，對其進行下個焊道或接觸處的檢查測量，直至第四個焊道或接觸處。 6.一旦出現 檢漏儀的告訴值有升高的的現象，待到檢漏儀讀值完全恢復一切正常后，繼續檢側該焊道或聯接論處認可其是真的是有漏，一旦認可就不是該焊道或聯接處有漏，要分別檢側該焊道或聯接處此前的焊道或聯接處，等到發現漏點直到。 7.直到各個的常閉觸點都被檢側到，檢側符合標準的常閉觸點要貼符合標準標志logo。各個的常閉觸點都噴吹過氦氣后，馬上查看檢漏儀的讀值10多分鐘差不多，核定讀值就沒有異樣后才還可以將整體與機器設備直接區分開。 8.假如不同觸頭的氦氣漏率都降到1× 10-9 mbar.l/s，描述該裝置的漏率是遵循的標準的。公測人士能能將探測最終結果數據在探測報告單里了。 9.將檢漏儀與系統隔開。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1檢驗意圖和檢驗的標準 油分查重的必要性重要是關鍵在于杜絕排水管內水含水量過高時，會有化工反饋，對工藝從而造成引響。 氧分檢則的效果通常是只為防止出現途徑鋪設內氧含碳量過高時，會發現催化物質引響，對工藝出現引響。舉例子，處理芯片在生產進程中，最開始豪邁中O2會和Si造成催化物質引響:O2+Si=SiO2,為默認的被鈍化成，若是途徑鋪設內的氧含碳量過高，默認的被鈍化層會少于最開始以及計算方法好的體積尺寸，太過會特別嚴重引響收起來各階段中的工藝。 粒狀測試常見是測試管線內顆粒子的顆粒直徑大大小小和數據許多。如管線內顆粒子多余會對Wafer良率影晌相當大。 在線檢測規則： 的水分驗測 ≤10ppb 氧分檢側 ≤10ppb 粉末的檢測 0.1um≤5pcs,0.1um以內為0pcs 4.2測試測試測量儀器 水量儀 氧分儀 小粒儀 4.3檢查方式 1.將吹掃氧氣源接到模式進氣端，各種銅閥地處開起程序。 2.不斷吹掃2H后用金屬材料壓縮空氣管道接整體吸氣端至檢驗議器進氣端。使氣體通入議器，101分鐘后加載外接電源，設置議器哪項數據后展開檢驗。 3.待軟件測試英文統計信息提升標準規定需要后，信息軟件測試英文統計信息，關機進氣端和吸氣端調節閥 ，使途徑內保持穩定負壓。 4.檢測實驗檢測的設備關閉電源，實驗檢測的設備與的設備轉移。
